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解决方案 集成电路、半导体、晶元

一种在半导体处理装置中处理被处理基板的方法，在处理容器内一边将第一基板的温度控制在处理温度上一边将处理气体供给所述处理容器内，对所述第一基板进行半导体处理。

在所述半导体处理中，在所述处理容器的内面上形成副产物膜。在所述半导体处理后并且从所述处理容器取出所述第一基板后，将改质气体供给所述处理容器内，对所述副产物膜进行改质处理。所述改质处理是以降低所述副产物膜的热反射性的模式进行设定的。

在所述改质处理后，在所述处理容器内一边将第二基板的温度控制在所述处理温度上一边将所述处理气体供给所述处理容器内，对所述第二基板进行所述半导体处理。

 一种在半导体处理装置中处理被处理基板的方法，其特征在于︰它具备， 在处理容器内一边将第一基板的温度控制在处理温度上一边将处理气体供给所述处理容器内，对所述第一基板进行半导体处理的工序，在所述半导体处理中，在所述 处理容器的内面上形成副产物膜； 在所述半导体处理后，并且从所述处理容器取出所述第一基板后，将改质气体供给所述处理容器内，对所述副产物膜进行改质处理的工序，所述改质处理是以降低所 述副产物膜的热反射性的模式进行设定的；和在所述改质处理后，在所述处理容器内一边将第二基板的温度控制在所述处理温度上一边将所述处理气体供给所述处理 容器内，对所述第二基板进行所述半导体处理的工序。

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废墨水厘

墨水盒的主要成份包括塑料、金属、剩余墨水和海绵，其中剩余的墨水最难收集，其次为海绵体，由于废墨盒的环保处理成本很大，资源回收率很低，在设计分解过程中最好使用自动机械化分解，因为只有难加工的塑料和极少量的金属，在此分解中要有一定的数量方可进行。

当分解出来所得的废墨水通常由溶剂、着色剂、表面活性剂、PH调节剂、催干剂以及其它必要的添加剂组成，着色剂一般 是水溶性染料和颜料，PH调节剂通常有氨水、三甲氨、三乙醇氨，硫酸盐等。根据以上的成份可用化学反应使之大部分生成沉淀，再经过废墨水污水处理系统得出 来的剩余墨渣加工成固态待后处理。

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废碳粉盒

碳粉盒绝大部分的鼓主要成份包括塑料、金属、剩余废碳粉主要是剩余的废粉最难处理，根据废粉的主要成份是树脂、碳黑、氧化铁、润滑剂等组成，根据它们的性 质设计一间由一个大型而专业的吸尘分解车间，防止废粉外散，主要由吸尘器，磁网多个，清洗间，污水处理糸统。这样分解出来的塑料、铁、铝可送往金属加工厂 处理，达到资源利用，而废粉可在收集时有少量的可加工成低质量碳粉再次利用，其它废粉可加温变成固态，待后再利用。